SCALA扫描式激光形貌仪是模块式的。包括一个光学扫描器，安装于温度湿度都可控的腔室里。基本配置可实现二维轮廓的静态特征，及通过热噪声和单点测量来确定的谐振频率。除了基本配置，SCALA还可配备如下三个工作模块：

• 动态模块

• 液体测量模块

• (3D)三维成像模块

SCALA扫描式激光形貌仪特点：

• 静态和动态都可测量

• 是无接触测量，可测液体环境下的物质。且静态和动态都可测量

• 不需要特别的反射率，对于几乎透明的材料都能获得很好的测量结果，如SU8胶。

• 可专门针对研究纳米机械传感器，如悬臂梁，桥，薄膜等

• 无需聚焦得到图像，可测不平度比较大的表面。

• 与AMF对比：

Z方向与AFM一样，都能获得亚纳米分辨率

在水平方向的分辨率不如AFM，SCALA只能达到微米分辨率，但可测大面积样片

• 与轮廓仪对比：

轮廓仪测不了动态特性及液体环境，且它需要高反射率。

• 与白光干涉仪对比：

白光干涉仪测量快，分辨率高，但得不到动态特性，当样品表面不平度比较大时，白光干涉仪无法聚焦。SCALA无需聚焦，可测大面积样片。

• 与振动计对比：

振动计只用于测动态特性，且他们必须人工来找到每个器件（如每个悬臂梁），SCALA自动找到器件，且能测量的频率很高，可达1MHz，SCALA动态静态特性都能测。

SCALA 扫描式激光形貌仪应用领域:

SCALA可对各种各样的实验提供测量手段，是一台可用于多种领域的仪器，无论是MEMS的特征检测，还是临床分析。

生物芯片 SCALA使用悬臂阵列对生物分子的监测，比使用微阵列灵敏度高100倍
监测MEMS的特征 在时域和频域下生成三维图像的能力
生物医药 DNA/蛋白质检测，细菌类别，药物研发
材料 表面精糙度和不平度。	食品科学 食品安全和质量控制