等离子体刻蚀终点检测仪
产品介绍 仪器简介: IMP离子蚀刻探针(Ion Milling Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子. 独有的专业终点检测(End Point Detection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量**化监测. 技术参数: 应用: • 终点检测(End Point Detection) • 靶的纯度鉴定 • 质量控制/ SPC. • 残余气体分析 • 泄漏监测 主要特点: 特点: • 高灵敏度的 SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器 • 三级过滤四极杆,标准配置质量数为300 amu • 差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室 • 离子光学器件,带能量分析器和内置离子源 • Penning规和互锁装置,以提供过压保护 • 数据系统与过程控制工具整合 • 稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%) • 通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制 • 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯 |
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