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等离子体刻蚀终点检测仪
等离子体刻蚀终点检测仪图片
产地:英国
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产品介绍
仪器简介:

IMP离子蚀刻探针(Ion Milling Probe),自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.

独有的专业终点检测(End Point Detection)仪器,用于离子蚀刻控制以及过程质量**化监测.

技术参数:

应用:

• 终点检测(End Point Detection)

• 靶的纯度鉴定

• 质量控制/ SPC.

• 残余气体分析

• 泄漏监测

主要特点:

特点:

• 高灵敏度的 SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器

• 三级过滤四极杆,标准配置质量数为300 amu

• 差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室

• 离子光学器件,带能量分析器和内置离子源

• Penning规和互锁装置,以提供过压保护

• 数据系统与过程控制工具整合

• 稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%)

• 通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制

• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯

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