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Pfeiffer分子泵 Hipace 400
Pfeiffer分子泵 Hipace 400图片
产地:德国
产品类型:无油泵
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产品介绍

Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 400

上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer 分子泵Hipace 400,抽速可达到 355 l/s 紧凑有力的涡轮分子泵。进气法兰 DN 100,涡轮分子泵通过保护等级 IP54、半导体 S2、UL / CSA 认证。紧凑设计保证分子泵**性能。涡轮分子泵 Hipace 400 高抽速和最大压缩比、集成驱动电路,工业环境和实验研究的理想选择。通过分子泵控制器监控运算数据保证分子泵的最大安全性。涡轮分子泵 Hipace 400 可选风冷或水冷。

涡轮分子泵 Hipace 400技术参数:

分子泵型号

接口 DN

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强mbar

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动时间

重量

进气口

排气口

氮气

  N2

氦气He

氢气 H2

氮气

  N2

氮气N2

hPa

氮气N2

min

kg

HiPace 400

  HiPace 400 P

100

25

355

470

445

> 1X1011

11

< 1X10–7

6.5

2

11.6 – 17.5

HiPace P 系列,因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域

分子泵应用 Hipace 400 :广泛应用于各个真空行业

镀膜:光伏、CD/DVD/PVD、光学镀膜、硬质涂层

工业:医学技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、热处理、灯管制造

研发:核研究、等离子研究、粒子加速器、冷冻研究、纳米技术、生物技术

分析仪器:小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体:PVD、CVD、Beamline、Inspection、MBE、Loard-Locks

上海伯东客户分子泵应用:Hipace 80,Hipace 400 用于分子束外延 MBE,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

涡轮分子泵 Hipace 400 对不同气体的抽速

涡轮分子泵 Hipace 400尺寸图


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