上海伯东 离子蚀刻机 20-M / NS-12

适合大规模量产使用的离子刻蚀机

伯东离子蚀刻机主要优点：

1. 干式制程的微细加工装置，使得在薄膜磁头，半导体元件， MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。

2. 物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。

3. 配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。

4. 射频角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。

5. 基板直接加装在直接冷却装置上，所以可以在低温环境下蚀刻。

6. 配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。

7. 机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。

离子蚀刻机 20-M / NS-12 图片：

通不同气体的蚀刻速率