NPFLEX 三维表面测量系统

针对大样品设计的非接触测试分析系统

灵活测量大尺寸、特殊角度的样品

高效的三维表面信息测量

垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节

快速获取测量数据，测试过程迅速高效

•   创新性的空间设计使得可测零件（样品）更大、形状更多

•   开放式龙门、客户定制的夹具和可选的摇摆测量头可轻松测量想测部位

高效的三维表面信息测量

•   每次测量均可获得完整表面信息，并可用于多种分析目的

•   更容易获得更多的测量数据来帮助分析

垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节

•   干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率

•   工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据，为日渐苛刻的加工工艺提供保障

测量数据的快速获取保证了测试的迅速和高效

•   最少的样品准备时间和测量准备时间

•   比接触法测量（一条线）更大的视场（一个面）获得表面更多的数据