电子枪扫描控制器及电子枪电源
产品介绍 日本ULVAC公司经多年的技术经验的积累,研制开发HPS-N系列电子束蒸发电源.和电子枪控制器单元, 整体电路运行稳定而安全.抗干扰能力强.可同时对应光学膜及金属膜. AEB Gun Controller(电子枪扫描控制器) 特点: 1数字化设计,良好的可操作性 采用数字化集成电路式设计,各种设定及操作可通过 液晶触膜面板完成.时时监控加速电压,发射状态.溶化 均匀度,轻松调整电子束停留时间,追溯扫描轨迹. 由CPU控制实现繁杂的扫描过程. 2扫描波形图形化,可视化. 在操作面板上完成各种扫描图形的设计. 3功能切换 通过DIP Switch实现金属膜/光学膜切换. 参数: 型号EGC-10GS TYPEG-TYPES-TYPE 相数,频率三相 50/60Hz 输输入电压AC200~220V 入变动范围190~231V 规输入容量382VA以下 格漏溢电流各相5mA以下 X轴可调0A~±1.5A0A~-3.5A 电磁范围 线圈电压±24Vmax±24Vmax 输出变量±2%±2% 频率10Hz~800Hz0.1Hz~22Hz 输可调间隔为0.1Hz可调间隔为0.1Hz 出波形任意波形任意波形 规Y轴可调0A~±1.5A0A~±1.2A 格电磁范围 线圈电压±24V±24V 输出变量±2%±2% 频率10Hz~800Hz0.1Hz~22Hz 可调间隔为0.1Hz可调间隔为0.1Hz 波形任意波形任意波形 偏转可调0A~-3.5A/ 线圈范围 输出电压+24Vmax/ 变量±2%以下/ 频率DC/ 波形DC/ 冷却方式强制冷却 外形尺寸480.5mmW x 499mmD x 149mmH 质量11.5kg |
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