Ushio 手动光刻机
产品介绍 Ushio手动光刻设备UPE-1102LU主要应用于LED芯片(蓝白光,红黄光)研发和生产当中,并且对全自动生产线所产生的LED芯片破片有辅助生产和处理的功能。同时也能对应一些较为特殊材质的芯片如:GaAs,SiO2的研发及生产。 特点: *可调整光刻间距,最大限度的避免光刻板被污染。 *操作简易,任何操作人员都能在短时间内熟练掌握。 *产能高于一般同行业竞争对手,最高可达80WPH; *可调整光刻时间,调整光强,并可根据所需累计光量值自动补偿光刻时间(无需人工调整)。 *更具客户端的光刻工艺,可预先设定光刻频道,可最大限度避免人为误操作的产生。 应用: *LED,半导体的芯片生产和研发。 |
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