INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，

在苛刻的生产环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空

计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设点调整. 抗腐蚀

性的超纯陶瓷传感器具有**的零点稳定性与预期数百万次压强

周期包括大气冲击的长使用寿命. 独特的传感器屏蔽(专利技术)保

护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了

EMC兼容性， 长期稳定性和温度补偿性. CDG025D真空计为从电源接

通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准.

优点

全刻度范围从100毫乇... 1’000乇

电源接通后的快速稳定性

暴露大气压后的快速恢复性

抗腐蚀性陶瓷传感器

**的长期讯号稳定性

温度补偿

保护传感器防止污染

一键调零功能

宽范围电源

2个设点(选项)

RS232接口(选项)

用途

要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量:

用于刻蚀， CVD， PVD， ALD半导体制造设备

数据贮存和显示器制造设备

工业真空设备

常用高精度真空测量