OAI光源以工作稳定，出光效率高，高均匀性和散射角小著称。且可提供20inch以上的大面积光源。 OAI光功率计在工业上有广泛应用，包括NIKON，CANON，ASM等知名光刻机制造商均使用OAI光功率计。

OAI也生产光刻机，尤其是OAI MODEL 800系列双面曝光机，在世界范围内有着非常广泛的应用。

OAI MODEL 800MBA

双面对准曝光机

曝光模式 接近、软/硬接触、真空接触

掩膜尺寸最大9"x9"

最大适合200mm晶圆曝光