ML7300 远紫外线 光谱仪

♦ 用于软X射线和远紫外线

♦ 易于使用，直接调整光源

♦ 标准平面图像，低杂散光，光学畸变校正

♦ 省时，光栅变化后无需调整

♦ 模块化，利用ML7310真空缝，ML3214相机，ML7320能量监控

器 - 所有设备安装在一起，就可完成测量工具升级

♦ 调整轮(手动控制的狭缝宽度从0 到 400 μm) 和 锁定机制

♦ 根据需求定制

光学规格

相机大致的对准平面图像的范围；用千分尺调整约50毫米(1 pm at 10 nm)。零阶成像和校准。

机械特性

锁定千分尺可以进行旋转和倾斜调节，该支点位于平面图像上。

附 件

♦ 按要求对光栅镀金

♦ 附加安装光栅的（建议快速交换光栅，节省调整）

♦ 应用特定的罗珀科学或metrolux的相机

♦ ML7310真空狭缝(使用光谱仪系统选项)

♦ 真空法兰以适应请求的自定义设计

♦ 光栅容易对准校准激光器和狭缝

♦ beamlux II 软件

♦ PC or laptop

♦ 激光同步装置或触发盒子

♦ 工作车高度可调 (900 mm x 750 mm x 800 mm)