产品介绍 德国PI位移平台 I的压电挠性位移台将亚纳米分辨率和导向精度与最小串扰相结合。这使其特别适合于计量学,超分辨率显微镜,干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。压电挠性位移台可用于毫秒级的定位和动态扫描,在高达6个自由度的情况下可达几百赫兹。 专有的传感器设计,无摩擦的挠性导轨和长寿命的PICMA®压电执行器的独特结合,带来了出色而坚固的机械性能。压电运动控制器支持定位和扫描性能优化,并且可以轻松地通过数字或模拟接口进行集成,并进行舒适的编程。 多轴压电挠性位移台 PI的多轴压电挠性位移台可在多达6个轴上以亚纳米级的精度进行定位和扫描,包括尖端,倾斜和偏航运动。版本范围从紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。 XYZ扫描仪是定位技术的方位工具。应用包括样品调整,技术,光学计量,光纤定位和光子学以及原子力显微镜。 所有压电纳米定位系统均已出厂校准,并随测量记录一起提供。 XYZ紧凑型压电立方体 P-616NanoCube®纳米定位器 紧凑的并联运动压电系统,用于纳米定位和光纤对准 P-611.3NanoCube®XYZ压电系统 紧凑的多轴压电系统,用于纳米定位和光纤对准 P-363 PicoCube XY(Z)压电扫描仪 高动态纳米定位系统,用于扫描探针显微镜 P-313 PicoCube XY(Z)压电扫描仪 皮克计精度高带宽,用于扫描探针显微镜 带有孔的XYZ压电位移台 P-733.3 XYZ压电纳米定位器 高精度XYZ光圈扫描仪 P-561•P-562•P-563 PIMars纳米定位台 高精度纳米定位器,最多可容纳3个轴 P-517•P-527多轴压电扫描仪 高动态纳米定位仪/扫描仪,具有直接位置测量功能 Z /尖端/倾斜压电挠性位移台 P-541.2•P-542.2 XY压电平台 大口径薄型XY纳米定位系统 P-541.Z•P-541.T压电Z平台/ Z和倾斜/倾斜平台 薄型,大光圈 P-518•P-528•P-558压电Z / Tip / Tilt平台 大光圈高动态 6轴压电位移台 P-587 6轴精密压电位移台 长行程,直接位置测量 P-562.6CD PIMars 6轴纳米定位平台 具有6个自由度的高精度纳米定位器 用于显微镜的PIFOC®物镜和PInano®样品扫描仪 PIFOC®和PInano®系列的压电挠性位移台和物镜扫描仪在定位和扫描任务方面具有很高的动态性。标准产品提供了适用于XY样品平行于和垂直于光轴定位以及物镜Z聚焦的解决方案。 平台也可以在系统中方便地与控制器,所有必需的连接电缆和软件一起使用。像所有压电系统一样,显微镜载物台和扫描仪也已通过测量记录进行了预校准。 XY压电挠性位移台 高精度的2轴纳米定位系统集成了PICMA®压电执行器,以实现***可靠性。通过使用高质量的纳米计量传感器,可以实现具有佳稳定性的可重复,无漂移的定位。 用于小负载的2轴压电扫描仪经常用于扫描和跟踪过程。它们的快速步进运动提高了光学系统的分辨率。这些包括相机技术中的成像过程和图像识别,例如用于生物识别或文档存档。 紧凑型XY压电位移台 P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ纳米定位器 用于纳米定位的紧凑型两轴压电系统 P-620.2 – P-629.2 PIHera XY压电平台 行程范围可变的高精度XY纳米定位器 XY压电挠性位移台 P-612.2 XY压电纳米定位系统 紧凑,带光圈 P-541.2•P-542.2 XY压电平台 大口径薄型XY纳米定位系统 P-733.2 XY压电纳米定位器 高精度XY光圈扫描仪 PI P-734.2CL P-734 XY压电扫描仪 具有最小跳动和清晰光圈的高动力系统 PI P-763 P-763紧凑型XY纳米定位系统 光圈清晰 低剖面,经济高效的压电扫描仪,用于生物识别:CCD芯片可在两个轴上动态移动,以提高像素分辨率 P-713 XY压电扫描仪 具有成本效益的低矮OEM系统 P-545.xR8SPInano®XY(Z)压电系统 用于高分辨率显微镜的廉价纳米定位系统 P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)压电系统 电容位置测量,用于超高分辨率显微镜 P-545.3D8SPInano®Trak压电跟踪系统 快速XY(Z)平台用于高动态显微镜 德国PI位移平台 |
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