3D显微镜
MV‑1000 3D显微镜
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产品介绍 托托科技神影MV‑1000/MV‑7000系列三合一 3D显微镜 托托科技神影 MV 系列是白光干涉、景深融合、共聚焦三合一高精度 3D显微镜,覆盖纳米至毫米级全量程表面形貌测量,一机整合多类显微功能,为精密制造与科研提供一站式微纳光学检测方案。
一、核心定位与技术整合 三合一测量原理:集成白光干涉仪、共聚焦显微镜、超景深显微镜、明场显微镜,无需切换设备即可完成多场景精密测量。 测量量程:覆盖纳米级(划痕 / 粗糙度)→微米级(结构高度 / 刻蚀深度)→毫米级(大面型 / 断口)。 核心优势:一体化抗干扰设计、AI 智能操作、独立测头可拓展、自动化工作流。
二、核心功能亮点 1. 精准可靠 一体化结构降低环境干扰,保障数据真实稳定。 粗糙度 RMS 重复性0.003 nm,台阶测量重复性0.08%。 划痕检出深度低至0.5 nm。 2. AI 智能操作 自动找焦 + 智能调平,一键完成样品定位与水平校正。 多图融合1 秒出图,操作流畅无延迟。
3. 独立测头与拓展 高度集成独立测量探头,仅电源 + 数据双接口,部署极简。 配套SDK,支持自动化测量与系统集成。 4. 大视野与高精度兼顾 200 亿像素融合拼接,宏观全貌与微观细节同图呈现。 支持大尺寸样品三维拼接,不牺牲分辨率。 5. 专业测量与自动化 支持线粗糙度、面粗糙度、台阶高度、深度、角度、面积、体积、曲率等 2D/3D 全参数测量。 自定义自动化工作流:参数设定→图像采集→数据测量→生成报告,支持 OK/NG 自动判定。 |
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