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辛耘清洗蚀刻设备
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KLA-Tencor Candela CS光学表面分析仪
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Toho FLX-2320-S薄膜应力计
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KLA 探针式台阶仪 P7
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辛耘分子泵检修服务
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Verity EPD 光谱仪
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Semilab SSM 汞探针CV测试设备
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Semilab – Sopra椭偏仪
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Semilab SDI 體內少數載流子擴散長及CV電性检测设备
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Rave光罩雾化污染去除系统Rhazer及先进光罩修复系统nm450
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TMC防震和减震系统
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Seminet光罩检查及存储设备
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Revera量测设备
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Integro™ 微波產生器
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HILIGHT™ 微波產生器（13.56MHz,600W）
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CESAR® RF產生器
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HFV® 變頻 (～2 MHz) 電源
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Apex® RF電源系統
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Paramount® 射頻功率輸送系統
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Crystal®
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LFGS 微波產生器
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PEII 低頻
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PDX® 中頻電源
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EWave® 雙極脈衝直流電
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MDX
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Pinnacle® Diamond™
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Pinnacle® 3000
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Pinnacle® Plus+
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Plasma-Therm工艺设备PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE
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12寸晶元再生（12" wafer reclaim）
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