
在光学精密加工领域,微纳结构元件的三维形貌检测是保障器件性能的重要环节。以微透镜阵列、衍射光学元件为代表的精密光学元件,其特征尺寸已突破亚微米量级,对表面轮廓精度与结构面形误差的检测要求达到纳米级分辨率。若加工
2025.06.24

激光跟踪仪是一种大范围高精度空间测量设备,其测量结果作为评价被测物是否合格的重要参考依据,因此激光跟踪仪测量结果的准确性尤其重要。在进行精密测量过程中,很多因素都会影响最终测量结果的准确性。根据中图仪器资深工程
2025.04.10
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共 2 篇文章 ![]() 在光学精密加工领域,微纳结构元件的三维形貌检测是保障器件性能的重要环节。以微透镜阵列、衍射光学元件为代表的精密光学元件,其特征尺寸已突破亚微米量级,对表面轮廓精度与结构面形误差的检测要求达到纳米级分辨率。若加工 2025.06.24 ![]() 激光跟踪仪是一种大范围高精度空间测量设备,其测量结果作为评价被测物是否合格的重要参考依据,因此激光跟踪仪测量结果的准确性尤其重要。在进行精密测量过程中,很多因素都会影响最终测量结果的准确性。根据中图仪器资深工程 2025.04.10
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