ACA系列科研版无掩模光刻机是一种基于空间光调制技术的紫外光刻机，它实现了数字掩模光刻。这种设备的灵活性非常高，使其成为科学研究领域的理想选择。它搭载了长寿命、高功率的紫外光源，确保了设备的稳定性和操作的简便性。此外，ACA系列无掩模光刻机还具备独特的原位光绘和交互式套刻指引功能，这些功能使得光刻和套刻过程更加容易和精准。

科研型无掩模光刻机ACA PRO的特征尺寸为0.8μm，拥有6英寸的光刻面积，并采用高精度的步进光刻技术。无掩模光刻机的优势在于不需要使用传统的掩模版，可以直接对晶圆进行曝光，实现图案的转移。这种技术不仅能够满足传统的2D光刻需求，还能实现2.5D光刻（即灰度光刻），从而更快速地制造特定产品并降低成本。

ACA系列无掩模光刻机广泛应用于科学研究、定制化生产、快速原型制造、电子器件、生物医药、光学元件、微机械等多个领域，为科研工作提供了强大的支持，助力科学研究领域的发展和创新。

科研型无掩模光刻机ACA PRO应用案例分享：