型号

组成

FJ-80

分子泵

FF-63/80

机械泵

干式隔膜泵

油封旋片泵

DIVAC 0.8T

GHD-031B

过渡腔

DN63转CF35/KF40/KF16（可定制）

分子泵抽气速率

N₂

He

62 L/s

55 L/s

最大连续入口流量*

100sccm

80sccm

最大连续入口压强*

10 Pa

10 Pa

极限压强

LF

CF

< 3.5×10^-6 Pa

(2.6×10^-8Torr)

< 5×10^-7 Pa

(3.7×10^-9Torr)

入口法兰

LF63/CF63

旁抽接口

Φ10快拧接头

出口接口

Φ8快插接头

放气接口

Φ8快插接头

额定转速

72000 min^-1 (±0.5‰)

分子泵启动时间

≤1.8min

分子泵启动延时^t

1～30min

前级泵

抽气速率

极限压强

干式隔膜泵

油封旋片泵

0.2L/s 300Pa

0.5L/s 0.67Pa

冷却方式

风冷

烘烤温度

≤100℃

噪声

< 55 dB(A)

工作环境磁场

< 3 mT

工作环境温度

5～40 ℃

供电

220VAC（±10%）

最大功耗（无负载）

干式隔膜泵

油封旋片泵

255W

280W

重量

干式隔膜泵

油封旋片泵

16 kg

21 kg