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ZQJ-3000型氦质谱检漏仪
ZQJ-3000型氦质谱检漏仪图片
产地:德国
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产品介绍

一、产品特点

操作方便:

体积小,重量轻,结构紧凑,操作面板简单。

性能高:

采用了进口检漏仪专用分子泵与高性能的质谱系统,灵敏度高,测量范围宽,检漏压强高,响应时间快。

功能强大:

多种检漏模式自动切换,能够检测质量数为2,3,4的4He,3He以及H2,丰富的菜单设置选项,具有权限控制功能。

可靠性高:

采用抗氧化性强的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命,系统具有强大的保护功能;

多种接口:

具有RS232/485,外控IO,遥控器接口以及外部规管接口等用户接口。

二、应用领域

光电器件检漏、电厂、半导体工业、航空航天

三、技术指标

最小可检漏率

5×10-13Pa.m3/s

测量范围

12个数量级(10-13~10-1Pa.m3/s)

最大检漏压强

1800Pa

响应时间

0.3秒

启动时间

小于3分钟

电源要求

230 V ±10% / 50 Hz或120 V ±10% / 60 Hz ,10A

工作环境

温度10~35℃,相对湿度≤80%

产品尺寸

550×460×304 mm (L×W×H)

重量

44kg(油泵) 34kg(干泵)

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