仪器简介：

Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。

技术参数：

应用：

· 蚀刻 / 沉积作用研究

· 离子植入 / 激光烧蚀

· 残余气体分析 / 泄漏检测

· 等离子体电感耦合，即在操作中遵从电极设定条件

· 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析

主要特点：

· 软件控制的离子汲取光学系统，以使等离子体扰动最小

· 45°静电扇区分析器，扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM

· 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输

· 带差式泵的三级过滤四极杆，质量数范围至2500amu

· 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器，有7个数量级的动态范围

· 可调谐的离子源，用于电子附着选件的表观电势质谱分析

· Penning规和互锁装置可提供过压保护

· 信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化

· 1000eV 选配， 漂浮电压可选至10keV， Faraday 杯用于高密度等离子体

· Mu-Metal， Radio-metal 屏蔽可选，高压操作可选

· 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，控制软件MASsoft