生命科学无掩膜光刻机 TTT-07-UV Litho-BIO

更短的波长、更大的深宽比，适用于高深宽比的厚胶工艺。

BIO系列是生命科学版的无掩膜紫外光刻机，该设备具有更高的深宽比，能满足生命科学领域的特殊需求。它主要用于制备像微流控芯片之类的具有特定需求的样品 。在微流控芯片的制造过程中，其高深宽比和高灵活性的特点得以展现，可确保芯片的质量和性能。这使得它成为生命科学研究和相关应用中的重要工具。BIO 系列的出现为生命科学领域带来了新的机遇，有助于推动相关技术的发展和创新，为科学研究和实际应用提供有力支持。

BIO无掩膜光刻机亮点：

特征尺寸1μm

高深宽比

无掩膜光刻机

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