高速版无掩膜光刻机

更快的加工速度、更强的设备性能，适用于小批量生产制造。

Speed系列是高速版的无掩膜版紫外光刻机，其配备了先进的高速空间光调制器以及高功率紫外激光器。这一系列的光刻机不仅保证了高精度和高灵活性，更在这一基础上，拥有了更高的光刻效率。其独特的性能特点使其特别适合小批量生产的场景。在该场景中，它能够发挥出其高效的优势，为生产带来更高的效率和更好的质量。Speed 系列为相关产业提供了更优质的选择，满足了市场对于高效率、高质量生产的需求。

S无掩膜光刻机亮点：

特征尺寸1μm

8英寸光刻面积

高速扫描光刻

无掩膜光刻机